HY-EPS 电镀电源

产品介绍

HY-EPS 系列 电镀电源

电镀电源是电镀工艺的核心设备，将交流电精准转换为可控直流电，其输出的电压与电流直接决定镀层的均匀性、致密性及结合强度。

本系列产品专为电化学沉积工艺设计，可提供高稳定性电流，并具备多通道独立控制功能，支持同时调控多个阳极与晶圆（阴极）之间的沉积过程，实现多个产品同步处理，显著提升生产效率和资源利用率。

■ 体积小、重量轻、效率高

■ 高精度恒流控制：采用恒电流模式

■ 多种输出模式：DC、脉冲、脉冲反向

■ 高速脉冲响应，上升/下降时间＜30μs

■ 支持2通道独立可调，各通道输出隔离

■ 具备过流、过热及短路等保护功能